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MKS Optima® OPT系列连续式直流电源

发布时间: 2020-04-24 点击次数:28

MKS  Optima® OPT系列连续式直流电源(直流等离子体发生器)

MKS  Optima®OPT系列直流电源,其功率有5、10、20、30、40、60和80千瓦

      当今先进的溅射工艺要求高速度、高精度、可控、高可靠性优质电弧控制,MKS Optima® OPT系列直流等离子电源是MKS新一代高性能等离子直流电源,可用于半导体、集成电路、存储媒介、平板显示器、太阳能电池和高端薄膜涂层制造工艺。

 MKS  Optima®OPT系列直流电源型号、特点及功率参数:

型号

特点

功率

Optima® OPT-50

最低的电弧能

5kW输出功率

输出电压>800V

最佳的可重复性

良好的电弧控制

接口灵活性

Optima® OPT-100

最低的电弧能

10kW和两个5kW输出功率

名义输出电压800V,最高可达1600V

最佳的可重复性

良好的电弧控制

接口灵活性

Optima® OPT-200

良好的线性和精度(+ 0.1%)

20kW,双10kW和20kW的主体配置

名义输出电压800V,可配置更高电压

< 4mJ微弧能

20kW主体封装体(3U)尺寸为5 1/4"

接口灵活性

Optima® OPT-400

最低的电弧能

40kW

名义输出电压800V,可配置更高电压

良好的线性和精度(+ 0.1%)

< 4mJ微弧能

接口灵活性

Optima® OPT-600

最低的电弧能

60kW

名义输出电压800V,可配置更高电压

良好的线性和精度(+ 0.1%)

< 4mJ微弧能

接口灵活性

   

               Optima® OPT-50连续式直流电源                          Optima® OPT-100连续式直流电源

  

               Optima® OPT-200连续式直流电源                  Optima® OPT-400连续式直流电源

         Optima® OPT-600连续式直流电源